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【企業(yè)動(dòng)態(tài)】揚(yáng)州欣達(dá)電子歡迎您 2014-04-12

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【技術(shù)文章】薄膜層狀生長(zhǎng)模式 2014-04-09

當(dāng)被沉積物質(zhì)與襯底之間浸潤(rùn)性很好時(shí)，被沉積物質(zhì)的原子更傾向于與襯底原子相鍵合。因此，薄膜從成核階段開(kāi)始即采取二維擴(kuò)展模式即層狀生長(zhǎng)模式(又稱(chēng)Frank -van der Merwe)。這種生長(zhǎng)方式的特點(diǎn)是，蒸發(fā)原子首先在基片表面以單原子層的形式 均勻地覆蓋...

【技術(shù)文章】薄膜島狀生長(zhǎng)模式 2014-04-04

在島狀生長(zhǎng)模式下，到達(dá)基片上的原子首先凝聚成無(wú)數(shù)不連續(xù)的小核，后續(xù)飛來(lái)的原子不斷集聚在核附近從而使核在三維方向不斷成長(zhǎng)，最終形成連續(xù)的薄膜。因此島狀生長(zhǎng)模式又稱(chēng)為核生長(zhǎng)模式。大部分薄膜的形成過(guò)程都屬于這種生長(zhǎng)類(lèi)型。這種生長(zhǎng)模式的過(guò)程如圖5一7(a)所示。島狀...

【技術(shù)文章】薄膜的形成與生長(zhǎng) 2014-03-31

薄膜的形成過(guò)程是指形成穩(wěn)定核之后的過(guò)程；薄膜生長(zhǎng)模式是指薄膜形成的宏觀形式。薄膜的生長(zhǎng)模式大體上可分為三種:島狀生長(zhǎng)模式、層狀生長(zhǎng)模式和層島結(jié)合的生長(zhǎng)模式。 如圖所示：

【技術(shù)文章】薄膜晶核的形成與生長(zhǎng)的物理過(guò)程 2014-03-26

在基底表面上吸附的氣相原子凝結(jié)之后，吸附原子在其表面上擴(kuò)散遷移而形成晶核。晶核再結(jié)合其他吸附氣體原子逐漸長(zhǎng)大，*便形成了薄膜。因此薄膜的形成是由成核開(kāi)始的，由核生長(zhǎng)而形成薄膜。 晶核形成與生長(zhǎng)的物理過(guò)程可用圖5一3來(lái)表示。從圖中可以看出核的形成...

【技術(shù)文章】薄膜表面擴(kuò)散過(guò)程 2014-03-22

入射到基底表面上的氣相原子在表面上形成吸附原子后，它便失去了沿表面法線(xiàn)方向的動(dòng)能，只具有與表面水平方向相平行運(yùn)動(dòng)的動(dòng)能。依靠這種動(dòng)能，吸附原子可以在表面上作不同方向的表面擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)。在表面擴(kuò)散過(guò)程中，單個(gè)吸附原子間相互碰撞形成原子對(duì)之后才能產(chǎn)生凝結(jié)。因此凝結(jié)就...

【技術(shù)文章】薄膜的凝結(jié)吸附過(guò)程 2014-03-19

凝結(jié)過(guò)程是指從蒸發(fā)源中或?yàn)R射靶上被蒸發(fā)或?yàn)R射出來(lái)的原子、離子或分子人射到基底表面之后，從氣相到吸附相，再到凝結(jié)相的一個(gè)相變過(guò)程，它是薄膜形成的*個(gè)階段。 固體表面與固體內(nèi)部在晶體結(jié)構(gòu)上的重大差異就是原子或分子間的化學(xué)鍵中斷。原子或分子在固體表面形成...

【企業(yè)動(dòng)態(tài)】揚(yáng)州欣達(dá)電子歡迎您 2014-03-17

動(dòng)畫(huà)

【技術(shù)文章】薄膜的形成與生長(zhǎng) 2014-03-15

薄膜的形成與生長(zhǎng)過(guò)程大體可分為外來(lái)原子在基底(或稱(chēng)為基片、基板或襯底)上的凝結(jié)、擴(kuò)散、成核、晶核生長(zhǎng)、原子或粒子團(tuán)的接合及連接成膜等階段。薄膜的形成與生長(zhǎng)過(guò)程不僅與薄膜材料和基底材料有關(guān)，還受原子和離子的狀態(tài)及能量、沉積速率、基底溫度、雜質(zhì)等多種因素的影響。...